高温烘箱_博霖实业_河南高温烘箱

本系列真空烘箱产品适用于LED光电元件、锂电池、晶振等电子产品生产工艺的真空干燥处理。该系列产品经吸收引进国外先进技术，不断更新完善，无锡高温烘箱型号，深受用户欢迎。

技术参数：

温度范围   室温~200

温度波动   ±1.0

加热功率   1.5KW 3.0KW 6.0KW

工作电压  220/380V  380V

真空度   100Pa

漏气量    ≤0.5

工作室尺寸   350*350*320   450*450*450    600*620*650

　　高温真空烘箱特点：

　　高温真空烘箱在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，湖南高温烘箱，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，高温烘箱，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。